کتاب صوتی طراحی و ساخت حسگرها و عملگرهای پیشرفته در فناوری MEMS

🎓 دوره آموزشی جامع

📚 اطلاعات دوره

عنوان دوره: دوره طراحی و ساخت حسگرها و عملگرهای پیشرفته در فناوری MEMS

موضوع کلی: مهندسی برق و مکانیک (میکروالکترونیک)

موضوع میانی: فناوری سیستم‌های میکرو-الکترومکانیکی (MEMS)

📋 سرفصل‌های دوره

• 1. مبانی و تعاریف پایه در فناوری سیستم‌های میکرو-الکترومکانیکی
• 2. مقیاس‌بندی و قوانین فیزیکی حاکم بر ریزساختارها
• 3. خواص مکانیکی مواد در مقیاس میکرو
• 4. مبانی بلورشناسی و خواص نیمه‌هادی‌ها در MEMS
• 5. فرآیندهای لایه‌نشانی لایه‌های نازک در ساخت میکرو
• 6. تکنیک‌های لیتوگرافی و الگودهی نوری
• 7. فرآیندهای اچینگ خشک و تر در ساخت ریزساختارها
• 8. فرآیندهای ماشین‌کاری سطحی و حجمی
• 9. تکنولوژی پیوند ویفر و بسته‌بندی ریزحسگرها
• 10. مبانی طراحی حسگرهای فشار میکرو
• 11. اصول عملکرد شتاب‌سنج‌های خازنی
• 12. طراحی و تحلیل حسگرهای ژیروسکوپ MEMS
• 13. مبدل‌های حرارتی و حسگرهای جریان در مقیاس میکرو
• 14. عملگرهای الکترواستاتیک و طراحی میکروموتورها
• 15. عملگرهای پیزوالکتریک در سیستم‌های میکرو
• 16. اصول طراحی و مدل‌سازی سیستم‌های تشدیدگر (Resonators)
• 17. میکروآینه‌ها و کاربرد آن‌ها در سیستم‌های نوری
• 18. میکروسنسورهای گازی و زیستی با رویکرد پایش محیطی
• 19. میکروپمپ‌ها و سیستم‌های انتقال سیال در میکروکانال‌ها
• 20. تحلیل المان محدود در طراحی ریزساختارها
• 21. مدل‌سازی رفتارهای غیرخطی در سیستم‌های میکرو
• 22. اثرات نویز و پایداری در سنسورهای دقیق
• 23. روش‌های اندازه‌گیری و تست مشخصات مکانیکی ریزساختارها
• 24. یکپارچه‌سازی سیستم‌های MEMS با مدارهای مجتمع CMOS
• 25. مدیریت توان در سیستم‌های میکرو
• 26. کاربردهای MEMS در تجهیزات پزشکی و سلامت
• 27. کاربردهای MEMS در اتوماسیون صنعتی و ابزار دقیق
• 28. طراحی سیستم‌های میکرو-الکترومکانیکی نوری (MOEMS)
• 29. تحلیل قابلیت اطمینان و نرخ خرابی در ریزساختارها
• 30. آینده فناوری MEMS و جهت‌گیری‌های نوین در صنعت ایران